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              半導體潔凈烘箱

              半導體潔凈烘箱

              產品詳情

              一、 適用區域

              本烘箱適合于潔凈車間內使用,適用于高精密半導體中烘干,膠水固化,精密光學元件清洗后烘干等熱處理。

              二、 設備特點

              1. SUS304 1.5mm不銹鋼板,全滿焊工藝;

              2. 箱內風道內設有潔凈空氣入口并裝有高效過濾器??墒褂脫Q氣和不換氣模式,可以使箱內保證微正壓,以保證污染物不能進入內箱;

              3. 高效過濾器HEPA過濾網構造潔凈室,可以對箱體內氣體進行單向過濾和循環過濾。根據使用要求,可以滿足潔凈級別ISO Class 5(國標100級),ISO Class 6(國標1000級),ISO Class 7(國標10000級)等各種等級的需求;

              4. 配置自動充氮氣裝置,與自動開關風門進行充氮烘烤;

              5. 全新開發觸摸屏操作系統,帶高精度PID主控儀,控溫精度為±0.1℃,自動恒溫??梢员4媾浞?,查看溫度曲線,導出升溫數據等;

              6. 根據使用要求,可以接受定制。

              三、 規格明細表

              型號

              YH-J100-ES-02

              工作穩定范圍

              常溫—150℃

              使用電壓

              三相五線380V,50Hz

              控溫精度

              ±0.1℃

              加熱功率

              6KW

              溫度均勻性

              ±3%℃

              溫度穩定度

              ±2℃

              尺寸

              工作尺寸

              H910mm*W620mm*D620mm


               

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